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Jupiter XR 原子力顯微鏡
原子力顯微鏡
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產(chǎn)品描述
Jupiter XR 是一款適合大尺寸樣品的原子力顯微鏡。通過它，用戶可以實現(xiàn)在一臺掃描器上進(jìn)行高速成像和大范圍掃描。Jupiter原子力顯微鏡可用于200mm晶圓樣品的掃描，提供更高的分辨率、更快的測量速度、更簡便的用戶體驗，并且在學(xué)術(shù)研究和工業(yè)研發(fā)領(lǐng)域都具有出色的通用性。
- 與同類大樣品原子力顯微鏡相比，具有更高的分辨率
- 掃描范圍可達(dá)100 μm，其速度比大多數(shù)原子力顯微鏡快5-20倍
- 從設(shè)置到獲得結(jié)果，每一步都更簡便、更快速
- 模塊式設(shè)計更具靈活性，可以滿足多種需求
更優(yōu)越的性能
- 優(yōu)于其他任何大樣品臺AFM的高分辨率
- 加大掃描范圍的掃描器（X-Y軸 100μm，Z軸12μm）可以達(dá)到大部分AFM掃描速度的5-20倍
- blueDriveTM輕敲模式簡化操作流程的同時顯著增強(qiáng)測量結(jié)果的可重復(fù)性
更簡單的用戶體驗
- 自動化的激光和檢測器設(shè)置取代了復(fù)雜的手動調(diào)節(jié)旋鈕
- 可以快速精準(zhǔn)的定位到200 mm的樣品上任意位置
- 高分辨率的光學(xué)系統(tǒng)可以使用戶輕松定位到待測區(qū)域
- 使用一個掃描器可以實現(xiàn)任何成像模式，無論是原子級成像還是大范圍100μm掃描都無需更換掃描器
可以滿足多種研究需求的多功能性
- 支持各種成像模式
- 模塊化設(shè)計，可以輕松地添加附件和以后的系統(tǒng)升級
- 靈活的軟件既可以程序化測量步驟也可以應(yīng)對研究需求
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